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“全國那么多研發(fā)機構(gòu)耗時七八年都沒研究出來，沒想到一個縣城企業(yè)做出來了?！边@是中國科學(xué)院院士韓布興在一次科技成果評價會上，對成武易信環(huán)?？萍加邢薰荆ㄒ韵潞喎Q“易信環(huán)保”）硼同位素項目的高度評價。

據(jù)易信環(huán)保董事長趙東方介紹，該公司硼同位素分離與富集項目一舉攻克兩個“卡脖子”技術(shù)。一是在國內(nèi)首次實現(xiàn)高豐度核級硼-10酸工業(yè)化量產(chǎn)。二是穩(wěn)定量產(chǎn)的高端三氟化硼-11電子特氣（高純度、高豐度）填補國內(nèi)市場空白，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主可控注入了國產(chǎn)之“氣”。

三氟化硼-11電子特氣，這個大眾較為陌生的名詞，卻堪稱芯片中的“血液”。高豐度、高純度三氟化硼-11是高端芯片、面板等半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中重要的特種氣體材料，其豐度和純度直接決定芯片的良品率和性能。“在我們量產(chǎn)之前，高端三氟化硼-11（高豐度、高純度）只有國外的兩家公司能生產(chǎn)，我國長期依賴進口?！壁w東方介紹。因技術(shù)受制于人，故而前幾年國外頻頻對我國半導(dǎo)體企業(yè)“斷氣”，令不少企業(yè)生產(chǎn)研發(fā)陷入僵局。

易信環(huán)保成立于2014年，最初的主營產(chǎn)品是環(huán)保增塑劑和飼料添加劑，2015年開始接觸硼同位素項目。中試成功后，2019年初，易信環(huán)保組建研發(fā)攻堅團隊，正式開啟了這場國產(chǎn)替代“從0到1”的突圍。不同于實驗室小試，工業(yè)化量產(chǎn)需要突破四大難關(guān)：工藝設(shè)計、制作設(shè)備、安裝以及調(diào)試。

“實驗室能做到95%豐度已是極限，但我們要突破99%，還要保證量產(chǎn)時品質(zhì)穩(wěn)定，難度極大。”趙東方說。因為國際上的技術(shù)封鎖，所以他們在研發(fā)時根本沒有同類參考，出現(xiàn)問題只能自己憑經(jīng)驗想盡辦法解決。高校和科研院所的行業(yè)專家、相關(guān)的論文文獻、國內(nèi)外的報道資料，都是他們的參考依據(jù)。但這些只能解決一些零星問題，系統(tǒng)性的難題還需要他們一個個去“死磕”。研發(fā)期間，整個團隊已數(shù)不清經(jīng)歷過多少個不眠之夜。

“現(xiàn)在，全國都在期待著你們成功！”在2020年全國工業(yè)氣體行業(yè)年會上，一位業(yè)內(nèi)專家緊握著趙東方的手鄭重地說。當時，易信環(huán)保的高端三氟化硼-11還未成功量產(chǎn)，但行業(yè)內(nèi)都已經(jīng)知道了這個敢啃硬骨頭的企業(yè)?！澳且豢蹋液鋈桓杏X自己不是一個人或一個團隊在‘戰(zhàn)斗’。”趙東方說，也是從那時起，他背負上了一種神圣的使命、一份厚重的責任。

終于，在2023年9月，高端三氟化硼-11電子特氣成功實現(xiàn)達標量產(chǎn)。這次成功不僅是一家企業(yè)的成功，更是我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)又一次“挺起脊梁”。背后是趙東方團隊1700多個日夜的嘔心瀝血和9000多萬元的真金白銀。“我們是破釜沉舟，不破樓蘭終不還?！壁w東方對于國產(chǎn)替代的執(zhí)著從始至終。

菏澤也為這個項目“鉚足了勁”?！笆形瘯洀垈愒鴮ｉT批示相關(guān)部門要及時跟蹤我們這個項目的進展，做好相關(guān)服務(wù)?！壁w東方說，國內(nèi)從事硼同位素富集專業(yè)的高級技術(shù)人員較少，對口人員難以匹配，成武縣在國內(nèi)外高校人才引進上給予了企業(yè)很大幫助。

在政策爭取上，有關(guān)部門第一時間幫助企業(yè)協(xié)調(diào)、申報。去年7月份，市工信局積極向上溝通，及時將易信環(huán)保硼-10酸項目先后錄入《省重點新材料首批次應(yīng)用示范指導(dǎo)目錄》和《國家重點新材料首批次應(yīng)用示范指導(dǎo)目錄》。在資格審定階段，全程跟蹤指導(dǎo)，組織專家協(xié)助企業(yè)完善申報材料，最終企業(yè)成功入選國家2024年首批次新材料保險補償項目名單?！拔覀児镜男虏牧媳ｋU費用可享受國家80%補貼，補貼額度達240萬元。”趙東方說。

目前，易信環(huán)?？煞€(wěn)定生產(chǎn)99.99%豐度、99.999%純度的三氟化硼-11電子特氣，同時硼-10酸的豐度可達99%、純度可達99.95%，產(chǎn)品已向國內(nèi)相關(guān)企業(yè)供貨。

令人振奮的是，易信環(huán)保已經(jīng)啟動二期規(guī)劃：擴建年產(chǎn)30噸三氟化硼-11氣體(含高純電子特氣）、年產(chǎn)100噸96%豐度硼-10酸生產(chǎn)線。“前段時間，一家臺資半導(dǎo)體企業(yè)找到我們，指名要99.99豐度的三氟化硼-11電子特氣?！壁w東方說，隨著我國國產(chǎn)替代進程不斷加快，企業(yè)的發(fā)展前景廣闊，提高產(chǎn)能刻不容緩。

烈日高懸，云淡風輕，廠區(qū)一派繁忙。一輛輛運輸車陸續(xù)載著銀色鋼瓶駛向全國各地，瓶身上易信環(huán)保的標識熠熠生輝?？梢灶A(yù)見，在不久的將來，一定會有越來越多的高端“中國氣體”在全球市場與國際頭部企業(yè)同臺競技。

記者 馬源劭